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Burkert宝帝参展4月9日深圳国际半导体产业及应用展览会

更新时间:2024-03-28      点击次数:393
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展会介绍



2024年深圳国际半导体产业及应用展览会(SZSEMI)将于4月9-11日在深圳福田会展中心隆重举行,作为中国科技创新中心,深圳是我国半导体产品的集散中心、应用中心和设计中心。近年来,国内对半导体产业重视力度逐渐加大,SZSEMI是华南地区乃至全国的全威性、专业化半导体行业品牌盛会,本届展会专注于整合半导体行业创新产品、技术、解决方案,为半导体行业的推广和交流提供一站式平台。




邀请函



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Bürkert 解决方案



Bürkert 有适用于半导体行业的精确控制的流体处理系统。可根据客户的需求定制系统,Bürkert 涵盖了整个半导体制造工艺过程中从单个产品组件到实现精准调控的紧凑型系统解决方案,再到实现工艺过程的自动化、数字化。从空间要求、安装条件以及机械、电气和通信接口,无论是单个产品还是整体系统都可以wan美适配您的半导体工艺流程。

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湿法工艺

Bürkert 用于电导率、pH 值和流量测量的产品可为您在湿法蚀刻工艺中提供优异的解决方案。此外,隔膜阀可以用于控制湿法蚀刻工艺中的工艺流体。


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物理气相沉积 ( PVD )

化学气相沉积 ( CVD )

Bürkert 冷却系统结构紧凑,可为您的设备量身定制。


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氮封系统

Bürkert 自动氮气计量添加解决方案具有可选的液位和流量测量功能,可防止去离子水污染,并确保超纯水的电阻值稳定保持在 18.3MΩ*CM。


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二氧化碳碳酸化器

Bürkert 系统将二氧化碳精确地计量添加到用于晶圆切片机或工艺过程的水中。



真空泵

Bürkert进气系统能够可靠地监测和控制

氩气进入腐蚀性气体可能干扰

或损坏泵功能的区域。



尾气处理

Bürkert 系统可在大流量范围内精准
控制燃气与氧气的比例。



分选测试冷却

Bürkert 比例阀 / 流量仪表精确控制

冷却/加热回路中的水的流量。


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期待您莅临展会现场交流

Bürkert展位号:1E 155



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