半导体制造中使用液态、气态、超纯至高腐蚀性流体。这包括超纯水、液态冷却介质,还包括酸或碱,例如氢氟酸、盐酸或硫酸以及氢氧化钠溶液或溶剂。各种液体特性(例如温度、流量、电导、pH 值)的精准测量和调控对于半导体制造至关重要。
Bürkert 作为流体领域的zhuan业品牌,通过分析流体过程,为您的半导体生产应用开发定制解决方案。
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